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螺杆真空泵的安达功能特性

文章出处:山东干式螺杆真空泵机组厂家 人气:86发表时间:2019-01-07 17:53
  螺杆真空泵在真空泵行业中是较好的产品,在工厂上也是随处可见。螺杆真空泵的价格相对于其他的真空泵的价钱来说是较为便宜的,而且螺杆真空泵的工作效率高,且螺杆真空泵的功能较全。那么螺杆真空泵具体的功能特性有哪些呢?
 
  真空泵广泛运用于真空冶炼、真空热处理、真空镀膜、电气产品、化工制药、真空模拟、电光源、硅晶体培植、除水除气、塑料制品、真空浸渍、真空(冷冻)干燥、制冷装置、食品加工及包装、汽车制造等行业。
  干式螺旋真空泵浦乃是利用一对互相咬合的螺旋转子,在转子间维持微小的间隙,使得真空泵浦运转时腔体内无需润滑,因而无油气回漏污染的问题。透过专利转子线形良好的密封效果,终极压力可达7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排气路径短,粉尘移除能力较其他型式的真空泵浦强,加上转子表面披覆特殊材质的镀膜,因此可适用于PECVD、Etching等严苛制程。
 
  干式螺旋真空泵浦,承袭上一代真空泵浦优良的转子设计,同时改善壳体的冷却方式,采用水套间接水冷的方式来降低壳体的温度,能够更精准地控制泵浦内部温度,减少沉积物的产生,增加真空泵浦的寿命。
 
  PS系列真空泵浦亦全面采用专利设计的水冷罐装密封马达,除了能维持更低的马达运转温度增加马达的寿命外,也可完全避免制程气体外漏的风险。
 
  PS系列真空泵浦亦可配备微电脑控制器,可同时监控马达电流、马达温度、壳体温度、冷却水流量、氮气流量以及齿轮箱油位高低,提供真空泵浦完整的安全性保护,十分适用于光电、半导体、太阳能与TFT-LCD等产品稳定性要求极高之产业。